產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器PLR3000位移高精度測(cè)量光纖激光尺有什么用？它配置高穩(wěn)定氦氖光光源，穩(wěn)頻精度可達(dá)0.02ppm。激光通過(guò)保偏光纖引導(dǎo)，用戶可輕松將光路配置到任意需要測(cè)量位置，減少阿貝誤差。

PLR3000位移高精度測(cè)量光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖光光源，穩(wěn)頻精度可達(dá)0.02ppm。激光通過(guò)保偏光纖引導(dǎo)，用戶可輕松將光路配置到任意需要測(cè)量位置，減少阿貝誤差。

一、光纖激光尺有什么用

基于激光干涉測(cè)量原理，是一種高精度、高靈敏度、高速度的位置檢測(cè)設(shè)備。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

二、光纖激光尺的優(yōu)點(diǎn)

1. 納米級(jí)信號(hào)輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號(hào)雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境參數(shù)對(duì)測(cè)量的影響，數(shù)據(jù)長(zhǎng)期可靠；

3. 靈活安裝設(shè)計(jì)：激光主機(jī)與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠(yuǎn)離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測(cè)量支持：?jiǎn)屋S/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量；

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨(dú)立測(cè)量，也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

三、光纖激光尺怎么用

1.高精度數(shù)控機(jī)床的位置反饋：如加工航空航天設(shè)備的高精度大型機(jī)床，此時(shí)就需要激光閉環(huán)來(lái)滿足；

2.高精度大型坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：大型工件測(cè)量往往對(duì)精度和量程要求很高，同時(shí)還對(duì)溫度非常敏感，光纖激光干涉尺的環(huán)境補(bǔ)償組件可以對(duì)溫度進(jìn)行補(bǔ)償，使之更合適高精度大型坐標(biāo)測(cè)量機(jī)使用；

3.光刻機(jī)：光纖激光尺的高精度、高抗震性能，非常適合光刻機(jī)使用；

4.高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)：光纖激光尺安裝在高精度直線電機(jī)上，做高精度直線電機(jī)的反饋，可直接提升運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的控制精度；

5.普通光柵尺刻劃、檢驗(yàn)：由于光纖激光尺的測(cè)量精度高出普通光柵尺一個(gè)數(shù)量級(jí)，所以可以使用光纖激光尺作為“母光柵"進(jìn)行光柵尺的刻劃、檢驗(yàn)工作；

6、其他檢驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備：配合高精度圓光柵，可以做絲杠導(dǎo)程誤差的檢測(cè)。雙軸測(cè)量可減小阿貝誤差，降低機(jī)械成本。

四、光纖激光尺使用案例

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺(tái)閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測(cè)量，提升加工精度與效率；

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度；

五、產(chǎn)品服務(wù)

1.定制化支持：按需提供量程拓展、線纜定制、探頭配置等個(gè)性化方案，精準(zhǔn)匹配客戶具體場(chǎng)景（如8m長(zhǎng)行程機(jī)床、5m航空部件檢測(cè)）；

2.精度背書(shū)：提供深圳市jiliangyuan/中國(guó)jiliangyuan出具的校準(zhǔn)證書(shū)，長(zhǎng)量程測(cè)量數(shù)據(jù)可追溯，滿足工業(yè)合規(guī)要求；

3.全周期服務(wù)：1年質(zhì)保+7×24小時(shí)技術(shù)響應(yīng)，長(zhǎng)量程安裝、拓展、調(diào)試全程提供專業(yè)指導(dǎo)，現(xiàn)場(chǎng)問(wèn)題平均解決時(shí)效≤4小時(shí)。

注：產(chǎn)品參數(shù)隨技術(shù)迭代優(yōu)化，相關(guān)內(nèi)容可能實(shí)時(shí)更新，恕不另行通知。

相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000位移高精度測(cè)量光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

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